晶圓 2D/3D AOI 檢驗(yàn)顯微鏡

晶圓 2D/3D AOI 檢驗(yàn)顯微鏡進(jìn)料的wafer，經(jīng)過(guò)正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查，進(jìn)行檢查和分選。操作員不接觸wafer，避免了污染和損傷wafer。