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system integration

系統(tǒng)集成

芯片ESD測試與失效分析

ESD閂鎖測試系統(tǒng)


ESD閂鎖測試系統(tǒng)是基于日本日新電子(HANWA ELECTRONIC IND.CO.,LTD)產(chǎn)的分析儀器,主要用于模擬人體模式(HBM)、機器模式(MM)、器件充電模式(CDM)等不同靜電放電模式,并執(zhí)行閂鎖測試(Latch-up)。該系統(tǒng)具備廣泛的測試參數(shù)范圍,包括HBM脈沖電壓±10V至±8000V,MM脈沖電壓±10V至±4000V,以及CDM充電電壓0V至±4000V [1-2]。主要使用:HED-S5000R/ HED-N5000 和HED-C5000R


CDM電壓±4000V閂鎖電流脈沖±5mA~±1000mA
測試管腳數(shù)256PIN-1024PIN靜放電測試
支持人體模式(HBM)、機器模式(MM)和器件充電模式(CDM)可模擬不同靜電放電場景對樣品的敏感度進行測試。
閂鎖測試提供電流脈沖范圍±5mA至±1000mA,電壓脈沖范圍0V至±100V,用于檢測半導(dǎo)體器件的閂鎖效應(yīng)

  • 該系統(tǒng)能夠模擬人體模式(HBM)、機器模式(MM)以及器件充電模式(CDM)對樣品進行靜電敏感度的測試,并具備Latch up的測試功能